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CV150
外部センサ型　比例回路内臓　フィードバック制御 表示器接続可

　CV150は比較制御回路を内蔵したコントロールバルブで、半導体製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度 を自動制御することによって、配管内の圧力もしくは流量を自動調整するコントローラです。
　圧力センサは実装していないので、必ず外部に圧力センサまたは流量センサが必要となります。
　最大制御流量は100kPa差圧で500cc/分と3000cc/分の2種類があります。CV150モデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調により 制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設定圧力に達します。
　圧力□継手は1/4インチVCR相当品で、接ガス部は全てメタル製になっており、半導体用クリーンガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険 ガス等全てのガスに対応可能です。