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各種ガス制御工房のACE

半導体を始めとする医療用並びに各種産業用の流体制御機器、 先端材料を使用した研磨剤不要のCMP用パッドなど弊社の独創的な開発製品を紹介致します。



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流量コントローラ
AFCシリーズ
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AGシリーズ
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流量制御器/マスフローコントローラー・マスフローメーター
  AFC150    DPFC250    DPFC500(PDF形式)   
排気圧力制御器・流量計
  排気圧力制御器(PDF形式)   
基準流量計
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流量検定サービス(PDF形式)
継ぎ手・ガスケット
ガス混合装置/ガス混合器
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