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流体制御機器
ap250ap500

AP250 / AP500

 AP250とAP500は半導体製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部(AP100Nと同等品)とドーム式レギュレータ部から構成されています。

 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信号を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの内部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設定圧力値と一致するように自動制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。

 最大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、最大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。

 圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相当品または3/4"VCR相当品に対応しています。真空中での使用なら相当品導体用クリーンガス、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。

仕様
型式 AP250 AP500
主な用途 FPD、燃料電池用 FPD、燃料電池用
対象ガス N2、空気、H2等 N2、空気、H2等
入口圧力 999kPa以下 999kPa以下
耐圧 1500kPa未満 1500kPa未満
圧力設定 表示設定器で設定 表示設定器で設定
制御方式 ドーム内空圧制御 ドーム内空圧制御
制御圧力 0~500kPa 0~500kPa
最大流量 500L/分 2000L/分
応答時間 設定値到達まで1秒 設定値到達まで1秒
入力信号 0~5VDC Cont/Close 0~5VDC Cont/Close
RS485 RS485
外部センサ入力 (4~20mA 標準) (4~20mA 標準)
出力信号 アラーム出力、RS485 アラーム出力、RS485
継手 1/2インチVCR相当品または1/2インチスウェジロック相当品 3/4インチVCR相当品または3/4インチスウェジロック相当品
シートリーク 10-5Pa・m3/秒以下 10-5Pa・m3/秒以下
精度 圧力センサ仕様による 圧力センサ仕様による
電源電圧 24VDC±10% 24VDC±10%
消費電流 200mA Max. 200mA Max.
使用温度 0~50℃結露なきこと 0~50℃結露なきこと
面間外形寸法 W70×D145×H124mm W80×D178×H170mm
圧力センサ 無し(外部) 無し(外部)
表示設定器 有り(分離設置可) 有り(分離設置可)