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流体制御機器
dpfc500

差圧式大流量流量コントローラー DPFM/DPFC500シリーズ

流体管路に生ずる微差圧を測定することにより質量流量計測・制御が実現

特徴

1.小型で大流量の計測可能
     乱流での差圧測定を行っており、流路径が小さく且つ流路長が短くてすむ。
     従来のサーマルタイプでは、乱流を層流にするため、大流量での小型化は不可能。
     EX) 500SLM:流路径 1/2" 流路径 5"

2.流量計は極低圧損
     微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答

特徴

対象ガス流量・圧力(ターゲット)
流量:1000SLM~5000SLM
圧力:大気圧 ~0.99MPa
基準校正圧力:0.2MPa、0.5MPa (指定要)
対象ガス:N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2他 水素はMax1000SLM

仕様
対象ガス N2、Ar、Air、H2等(ご相談に応じます)
供給(入口)圧力 0.4~0.7MPaG
下流(出口)圧力 供給圧に対し、-0.3MPa以下
流量フルスケール(1) 1000、2000、3000SLM
カット 2 % FS以下の設定に対し、制御バルブ閉
精度 ±3%FS以内S
繰返し再現性 ±0.5% FS
使用(精度保証)範囲 0~50℃ (10~40℃:精度保証)、結露無きこと
応答性 設定値まで 2秒以内(Typical)
取合い 1インチSWL
耐圧 0.99MPaG
電源電圧 DC24V±10%,200mA
外部入力
*C/C
*SET

*閉時:Control、開時:Close
*0~5VDC
外部出力
*アラーム

*OUT
*アラーム時:閉
設定流量との差異:上下(9.9% FS)
本体異常(電源電圧)
*0~5VDC
Air 供給圧(バルブ駆動用) 0.4~0.7MPaG
Air 供給取合 ф4 mmワンタッチ
外部シール 1x10-7Pa・m3/sec(He)