層流差圧式質量流量コントローラ AFC/AFMシリーズ AFC-250

本流量ｺﾝﾄﾛｰﾗは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。
小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。
流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。

対象ガス	N2,　Air,　H2,　CH4,　Ar,　O2他
流量範囲	５０NLM～５００NLM　(0℃,一気圧換算)
制御範囲	5-100%　FS
精度	2%　FS
繰り返し性	±0.2%　FS
応答速度	2秒以内　(フルスケール設定値の±2%到達までの時間)
制御範囲	2-100%
使用温度範囲	0-50℃（15-35℃：精度保証）、結露なきこと
耐圧	0.99MPa
外部シール	1×10^-7Pam³/sec(He)以下
入力信号	0-5VDC、RS485　(4-20mA 工場オプション)
出力信号	0-5VDC、RS485　(4-20mA 工場オプション)
電源電圧	DC24V±10%　200mA以下
接ガス材質	SUS316、バイトン　他　（SUS316L対応可）
電源コネクター	D-Sub 15ピン
ﾊﾞﾙﾌﾞ駆動用空圧	0.4-0.5MPaG
寸法	面間寸法174mm 　高さ128mm（コネクター除く）　流量により異なります
継手	3/8　又は1/2“スウェジロック相当継手　（VCR相当継手対応可能）

50NLM以下の場合にはAFC-150を準備しております。
500NLM以上の場合はAFC-2500を準備しております。

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