各種ガス制御 | 株式会社エーシーイー |

差圧式大流量流量コントローラー　DPFM/DPFC500シリーズ

流体管路に生ずる微差圧を測定することにより質量流量計測・制御が実現

１．小型で大流量の計測可能
　　　　　乱流での差圧測定を行っており、流路径が小さく且つ流路長が短くてすむ。
　　　　　従来のサーマルタイプでは、乱流を層流にするため、大流量での小型化は不可能。
　　　　　EX) ５００SLM：流路径 1/2"　流路径 5"

２．流量計は極低圧損
　　　　　微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答

対象ガス流量・圧力（ターゲット）
流量：1000SLM～5000SLM
圧力：大気圧　～0.99MPa
基準校正圧力：0.2MPa、0.5MPa （指定要）
対象ガス：N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2他　水素はMax1000SLM

対象ガス	N2、Aｒ、Air、H2等（ご相談に応じます）
供給（入口）圧力	0.4～0.7MPaG
下流（出口）圧力	供給圧に対し、－0.3MPa以下
流量フルスケール（1）	1000、2000、3000SLM
カット	2 % FS以下の設定に対し、制御バルブ閉
精度	±３％FS以内S
繰返し再現性	±0.5% FS
使用（精度保証）範囲	0～50℃ （10～40℃：精度保証）、結露無きこと
応答性	設定値まで 2秒以内（Typical）
取合い	１ｲﾝﾁSWL
耐圧	0.99MPaG
電源電圧	DC24V±10％,200ｍA
外部入力 C/C SET	閉時：Control、開時：Close 0～5VDC
外部出力アラーム OUT	アラーム時：閉設定流量との差異：上下（9.9% FS）本体異常（電源電圧） 0～5VDC
Air 供給圧（バルブ駆動用）	0.4～0.7MPaG
Air 供給取合	ф4 mmワンタッチ
外部シール	1x10^-7Pa・m³/sec（He）

各種ガス制御ならエーシーイーにおまかせください。