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AP160M
半導体用 オートレギュレータ
低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です

AP160Mは半導体製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管内の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。

最大制御圧力は650kPa程度で、最大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。

圧力ロ継手は1／4"VCR相当品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導体プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。