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差圧式大流量コントローラー　DPFM/DPFC250シリーズ

本大流量コントローラ（マスフローコントローラー）は、流体の下流側に圧力検出穴を設置し流量管内との差圧により流量を測定

微差圧計の開発により幅広い流量域と高度な測定を実現できました

１．小型で大流量の計測可能
　　　　　乱流での差圧測定を行っており、流路径が小さく且つ流路長が短くてすむ。
　　　　　従来のサーマルタイプでは、乱流を層流にするため、大流量での小型化は不可能。
　　　　　EX) ５００SLM：流路径 1/2"　流路径 5"

２．流量計は極低圧損
　　　　　微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答

対象ガス流量・圧力（ターゲット）
流量：100SLM、200SLM、500SLM、1000SLM、2000SLM、4000SLM
圧力：大気圧　～0.99MPa
基準校正圧力：0.2MPa、0.5MPa （指定要）
対象ガス：N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2　水素はMax1000SLM (今後2000SLMを検討）

対象ガス	N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2
供給（入口）圧力	0.4～0.7MPaG
下流（出口）圧力	供給圧に対し、－0.2MPa以下
流量フルスケール（1）	300SLM （L/min：0℃、1気圧換算）
カット	2 % FS以下の設定に対し、制御バルブ閉
精度	±1% FS
繰返し再現性	±0.5% FS
使用（精度保証）範囲	0～50℃ （10～40℃：精度保証）、結露無きこと
応答性	設定値まで 2秒以内（Typical）
取合い	1/2 インチSWL
耐圧	0.99MPaG
電源電圧	DC24V ±10%
外部入力 C/C SET	閉時：Control、開時：Close 0～5VDC
外部出力アラーム OUT	アラーム時：閉設定流量との差異：上下（9.9% FS）本体異常（電源電圧） 0～5VDC
Air 供給圧（バルブ駆動用）	0.4～0.7MPaG
Air 供給取合	ф4 mmワンタッチ
外部シール	1x10^-7Pa・m³/sec（He）

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